低温等离子技术是通过导电介质(氯化钠溶液或细胞液中的电解质)在电极（双极或多极构成电压差）周围构成一个高度调集的等离子体区。等离子体区是由高度离子化了的粒子组成，这些离子化了的粒子具有满意的能量损坏组织内的有机分子分子链，从而使分子和分子分别，组织体积缩小。不直接损坏组织，对周围组织损害极小。由于电流不直接流经组织，组织发热很少， 医l治温度低。所以具有表面组织温度40-70℃、直接组织损害l小、少的热渗透、通过分子间的分别，使组织定点消融等利益。
低温等离子体的不足之处：
易发生火花放电，在高峰值电压下，反应器易发生火花放电，火花放电不只增大电能耗费，并且损坏放电的正常进行，净化效率低，还存在危险性。
当填充资料直径为3mm时，电场强度为4KV/cm时，因为击穿和火花的发生，对苯等有机物的分解并不十分彻底。
关于低温等离子设备对设备部件的构型规划、制作精度、严密性等要求很高。比如对电场频率、电压、高频的脉冲等参数，成套设备中如果其间的某个参数达不到要求，如电压电低、频率过高或过低一级会对离子体的发生量造成很大的影响，甚至会造成爆l炸事件。
目前国内废气处理选用低温等离子技能不成熟，处于探索阶段。相关质量管理规范规范不完善，对技能水平良莠不齐的设备生产商缺少严厉的判定依据。所以市场上众多自称为低温等离子体的净化设备，都是未经过判定的。
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